雙頻+掃頻技術(shù)（40KHZ/120KHZ/自動切換），兆聲波槽（1MHz）。
清洗劑兼容性：去離子水、異丙醇（IPA）、光學(xué)專用中性溶劑。
干燥系統(tǒng)：真空冷凍干燥（-20℃～50℃）+紅外輔助。
潔凈度標(biāo)準(zhǔn)：ISO Class 4（可選配Class 3）。
產(chǎn)能：300-500片/小時（視鏡頭尺寸和工序）。
功率：15KW（380V工業(yè)電源）。
控制系統(tǒng)：PLC+觸摸屏（預(yù)設(shè)20組程序，支持RFID單件追溯）。
三、輔助增強(qiáng)技術(shù)：
1.慢拉脫水：
技術(shù)細(xì)節(jié)：
鏡頭從離子水中以0.1～5mm/s速度緩緩提升，利用表面張力均勻排水。
配合水膜破裂劑（如Marangoni效應(yīng)），實(shí)現(xiàn)零水漬。
2.真空冷