日期:2025-06-30 10:19
價(jià)格:0.00/臺(tái)
型號:WD4000
品牌:中圖儀器
起訂:1臺(tái)
供應(yīng):99臺(tái)
發(fā)貨:3天內(nèi)
聯(lián)系方式
公司:深圳市中圖儀器科技有限公司
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姓名:何漢英(先生)
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地址:深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1001號南山智園B1棟2樓
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詳細(xì)介紹
WD4000晶圓Warp翹曲度量測系統(tǒng)采用高精度光譜共焦傳感技術(shù)、光干涉雙向掃描技術(shù)，完成非接觸式掃描并建立3D Mapping圖，實(shí)現(xiàn)晶圓厚度、TTV、LTV、Bow、Warp、TIR、SORI、等反應(yīng)表面形貌的參數(shù)。通過非接觸測量，將晶圓的三維形貌進(jìn)行重建，強(qiáng)大的測量分析軟件穩(wěn)定計(jì)算晶圓厚度，TTV，BOW、WARP、在高效測量測同時(shí)有效防止晶圓產(chǎn)生劃痕缺陷。
WD4000晶圓Warp翹曲度量測系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、鈮酸鋰、藍(lán)寶石、硅、碳化硅、玻璃不同材質(zhì)晶圓的量測。兼容不同材質(zhì)不同粗糙度、可測量大翹曲wafer、測量晶圓雙面數(shù)據(jù)