的同時保持高精度。
3.關(guān)鍵部件一體鑄造成型，重量輕，強(qiáng)度高，提升機(jī)器精度及運(yùn)動平穩(wěn)性。
4.Z軸采用柔性平衡系統(tǒng)，降低摩擦阻力，提高Z軸運(yùn)動精度。
5.采用高精度、高分辨光柵尺，確保機(jī)器高精度和長時間穩(wěn)定。
6.高剛性傳動方式，保證機(jī)器傳動的平穩(wěn)性和剛性。
7.開放式的工作臺面，具備良好的承載能力，以及開闊的測量視野。
8.氣壓檢測安全裝置，時刻監(jiān)測Z軸不因斷氣而下墜，確保測座測頭使用安全。
測控部分
控制器：
中圖Alpha系列控制器：自主研發(fā)，支持全閉環(huán)直流伺服電機(jī)驅(qū)動，具有優(yōu)異的伺服跟隨控制能力，符合I++標(biāo)準(zhǔn)，兼容