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wat半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試設(shè)備晶圓片檢測(cè)儀
體參數(shù)分析儀可以幫助用戶根據(jù)測(cè)試需要,靈活選配測(cè)量單元進(jìn)行升級(jí)。產(chǎn)品支持Z高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測(cè)量,同時(shí)檢測(cè)10kHz至1MHz范圍內(nèi)的多頻AC電容測(cè)量。SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀搭載普賽斯自主開發(fā)的專用半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試軟件,支持交互式手動(dòng)操作或結(jié)合探針臺(tái)的自動(dòng)操作,能夠從測(cè)量設(shè)置、執(zhí)行、結(jié)果分析到數(shù)據(jù)管理的整個(gè)過程,實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征;也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用,滿足高低溫測(cè)試需求。



產(chǎn)品特點(diǎn):

30V-1200V,1pA-100A寬量程測(cè)試能力;
測(cè)量精度高,全量程下可達(dá)0.03%精度;

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