實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。廣泛應(yīng)用于精密檢測儀器、機(jī)床、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺、三坐標(biāo)、機(jī)器人、精密機(jī)械設(shè)備等領(lǐng)域的線性測量。
測量機(jī)床直線度
測量機(jī)床偏擺角度
自動(dòng)化設(shè)備精度測量
中圖儀器sj6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。通過與不同