三氯氫硅合成尾氣的體積分數(shù)分別為HCl 30%；H2 64.2%；SIHCl3 5.4%；其他0.2%。多晶硅混合氣是在還原三氯氫硅過程中產生的尾氣，成分復雜，主要是四氯化硅和三氯氫硅，二氯二氫硅等。多晶硅和三氯氫硅尾氣未經處理排放大氣，不僅造成污染，還存在重大安全隱患。

根據(jù)尾氣的特性、成分、壓力等，選擇適當?shù)墓に嚵鞒毯图夹g條件進行尾氣處理，則可降低三廢排放，變廢為寶。把尾氣經過壓縮后采用冷凝或變壓吸附法（即濕法處理，常規(guī)干法或新型干法技術處理）進行吸附、分離、提純，尾氣則變成可回收的產品或可循環(huán)使用的原料。

我公司生產制造多晶硅、三氯氫硅尾氣壓縮機，以及生產多晶硅、三氯氫硅需要的補充氫壓縮機、循環(huán)氫壓縮機、還原氫壓縮機、氮氣壓縮機。多晶硅、三氯氫硅尾氣壓縮機采用填函前置氣頂氣、回收室一次氮封、D型隔離室二次氮封的安全密封結構，確保介質氣體不會外漏。