主要特征:
 各運動軸均采用直流伺服驅(qū)動+增強(qiáng)型同步帶，確保運動的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位
三軸均采用預(yù)載荷空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損
 三軸均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078um；同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時的線性伸縮
 采用?？怂箍禐镕unction Plus專業(yè)打造的IDC-II控制系統(tǒng)，21項誤差空間修正技術(shù)和自動調(diào)諧功能，保證了大型機(jī)器的動態(tài)性能和測量精度
 測量機(jī)三軸都配置溫度傳感器，實時監(jiān)控溫度變化，自動補(bǔ)償由于溫度變化而引起的誤差
規(guī)格型號與技術(shù)指標(biāo)：
800 1000
機(jī)器型號 F10128 F121510 F122010 F122510 F12310
行程（mm） X 1000 1200 1200 1200 1200
Y 1200 1500 2000 2500 3000
Z 800 1000 1000 1000 1000
測量空間（mm） Dx 1100 1300 1300 1300 1300
Dy 1960 2340 2840 3340 3840
Dz 950 11150
Dx1 153 173 173 173 173
Dy1 250 280 280 280 280
承重（kg） 1200 2000 2000 2000 2000
機(jī)器重量(kg) 4000 5300 8500 10500 12500
MPEe(μm) 4.0+L/300 5.0*L/300 5.0*L/300 7.0*L/300 7.0*L/300
MPEp(μm) 4.5 5.5 5.5 5.5 5.5
光柵尺分辨率（μm） 0.4 0.4 0.4 0.4 0.4
空間移動速度（mm/s） 200 200 200 200 200
空間移動加速度（mm/ s2） 450 450 450 450 450
流量/供氣壓力 150 NI/min,0.45Mpa 150 NI/min,0.45Mpa 150 NI/min,0.45Mpa 150 NI/min,0.45Mpa 150 NI/min,0.45Mpa
注：工作環(huán)境為溫度（20±2）℃, 濕度為45%-75%